30.6 / 6 А 46 Александров, В. К. Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов [Текст] / В. К. Александров, Ю. Н. Биенко, В. Н. Ильин ; АН БССР, Ин-т электроники. - Минск : Наука и Техника, 1988. - 239, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 233-238. - ISBN 5-343-00264-1 : Б. ц. Рубрики: Вимірювання ВДЕТН Кл.слова (ненормовані): ARM Дод.точки доступу: Биенко, Ю.Н.; Ильин, В.Н.; Академия наук Белорусской ССР; Институт электроники Примірників всього: 1 ВДЕТПСГН (1) |