32.852/6П2.151.8 Ч-49 Черняев, А. В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / А. В. Черняев. - Москва : Радио и связь, 1990. - 85, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 83-86. - Б. ц. Рубрики: Напівпровідникові прилади Кл.слова (ненормовані): ВДЕТН Примірників всього: 2 ВЗ (1), ВДЕТПСГН (1) |