Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si-C-N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням [Текст] / А. О. Козак [та ін.] // Сверхтвёрдые материалы. - 2015. - № 5. - С. 12-24 : рис., табл. - Бібліогр.: с. 23-24 Рубрики: Покриття--Зносостійкість Кл.слова (ненормовані): наноіндентування -- хімічні зв'язки -- рентгенівська фотоелектронна спектроскопія Дод.точки доступу: Козак, А. О.; Іващенко, В. І.; Порада, О. К.; Іващенко, Л. А.; Синельниченко, О. К. Є примірники у відділах: всього 1 : ВДЕТПСГН (1) |