ОДАРИЧ Володимир Андрійович

535
О-40

Одарич, Володимир Андрійович.
Прикладна фотометрична еліпсометрія [Текст] / В. А. Одарич. – Київ : Пульсари, 2017. – 413, [1] с. : іл., табл.

У книзі розглянуто основні питання відбивальної еліпсометрії, зокрема зв'язок характеристик відбивальної системи із поляризаційними параметрами відбитої від системи електромагнітної хвилі для різних моделей відбивальної системи – одношарової, двошарової та анізотропних середовищ. Розглянуто основи методу фотометричної еліпсометрії, алгоритми розрахунку параметрів системи за виміряними значеннями еліпсометричних параметрів, наведено тексти автоматизованих програм обробки еліпсометричних даних, а також викладено основи еліпсометричних методів контролю оптичних деталей, підданих різним способам обробки поверхні. Наведено результати еліпсометричних досліджень діелектричних покриттів, йонно імплантованих напівпровідників, процесів взаємодії атмосферного повітря із поверхнею тощо. Призначено для наукових працівників та інженерів, які використовують еліпсометричні прилади у своїх дослідженнях, викладачів і студентів вищих навчальних закладів.

Поділитись:

Розклад роботи:

Бiблiотека:

ПН-ЧТ – 9:30-18:00
ПТ – ВИХІДНИЙ
СБ-НД – 10:00-18:00

Інтернет-центр:

ПН-ЧТ – 9:30-18:00
ПТ – ВИХІДНИЙ
СБ-НД – 10:00-18:00

обслуговування користувачів до 17:45

Під час ПОВІТРЯНОЇ ТРИВОГИ

обслуговування користувачів
призупиняється